An einer erhitzten Oberfläche eines Substrates wird aufgrund einer chemischen Reaktion aus der Gasphase eine Feststoffkomponente abgeschieden. Die entstehenden gasförmigen Restprodukte werden dabei aus dem Rezipienten entfernt. Gruppe von Vakuumbasierten Beschichtungsverfahren, bei denen die Schicht direkt durch Kondensation eines Materialdampfes des Ausgangsmaterials gebildet wird.