1993 Gründung als “Start up” der Universität Kaiserslautern   1994 Fertigung der weltweit ersten Plasmaquelle mit neutralem Plasmastrahl;           Arbeitsprinzip: „Self-biasing-effekt“ von Prof. Dr. Hans Oechsner   1996 Erste Versuche zur industriellen Abscheidung ultradünner Kohlenstoffschichten mittels           Plasmastrahlquellen (PE-CVD Prozess)   1998 Neukonzeption induktiv gekoppelter RF-Ionenquellen mit veränderlichem Stahlgeometrie           (ECWR = Elektron Cyclotron Wave Resonance); “Erste der Ersten” Linear-Ionenquelle           mit 30cm Strahlgeometrie und 3-fach Extraktionsgitter   1999 Zusammenschluss mit der Jakob Gruppe und verstärkte Zusammenarbeit mit der Jakob Vakuumtechnik   2000 Projektstart zur Entwicklung neuartiger Sensoren zur Gasanalyse   2001 Bau einer 1m Ionenquelle zur Abscheidung von SiO2 -Schichten für industrielle Fertigung           von Gassensormikroarrays   2002 Verlegung des Firmensitzes nach Kleinwallstadt; Weiter intensivierte Zusammenarbeit mit der           Jakob Vakuumtechnik   2003 Beginn Überführung C-Gun zur Abscheidung dünner Kohlenstoffschichten in industrielle Fertigung   2004 Fertigung der ersten industriellen Anlage zur Erzeugung von Mikroarrays zur Gasanalyse   2005 Weltweite Nachrüstung der Circulussysteme zur Abscheidung dünner Kohlenstoffschichten           durch PBS Plasmaquellen; Weiterentwicklung von PBS Plasmaquellen zur Ionenunterstützung           im Hochvakuum mittels fluorischer Stoffe für den DUV/VUV Bereich 193nm   2006 Weiterentwicklung der Plasmastrahlquellen für Linearsystem; Patentanmeldungen   2007 Neuausrichtung der Firma für Strahlanalysen mit Mikrosystemtechnik