Sonderform des PVD Verfahrens. Beim IBAD verfahren werden zusätzlich die durch Kondensation erzeugten Materialien durch Ionenstrahlunterstützung auf dem Substrat abgeschieden.   Die Ionenstrahlunterstützung führt dabei zu einer Haftverbesserung der abgeschiedenen Schicht und oder zu einer Vermischung des Kondensats mit dem Substratmaterial.