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Plasmastrahlquellen Der innovative Fortschritt im Niederenergie-Bereich mit neutralem Plasmastrahl
Ionenstrahlquellen Strahldeposition auch für grosse Flächen mit variabel einstellbarer Ionenenergie bis 2 keV
Zubehör Einzelkomponenten bis hin zum “Rundum-Sorglos-Paket”